基于在低频电压范围原生放电医用三氧（臭氧）生产设备的原理：医用纯氧气通过连个连接的高压管系列，它们依次与 4000V～9000V 改变的电压相连（如图）。
供应的能量确保单个氧分子分解为氧原子，而后与存在的氧气化合形成三氧分子。在催化剂作用下过量的或未使用的三氧重新转化为氧气。
在这一过程中，发生下面的反应：
•O — O•→2•O•
△H=+489kJ/mol（+117kcal/mol）
在电能作用下，一部分氧分子分解为单个的氧原子。具有能量和电荷的个体氧原子与氧分子反应生成三氧，同时放出能量。
•O + •O-O•→O3
△H=-105kJ/mol（-25kcal/mol）
上述两个过程可以用一下的总反应式来表示：
3•O — O•→2O3
△H=+140kJ/mol（+34kcal/mol）
也就是说，有氧气生成三氧的过程中储存了 34kcal 的能量。整部分能量在三氧分解时还会释放出来。
三氧不能储存，一旦发生，三氧/氧气混合物要么通过三氧供给喷嘴给药进行治疗，要么在催化作用下重新转化为纯氧气。使用者可通过电压和气流这两个参数改变三氧的浓度：
1、电压
所加的电压越高，供给的三氧浓度越大。
2、气流
气流越大，即氧气流经放电区的速度越快，离解的氧分子数越少，即供给的三氧浓度越低。
如上图所示，在 3 种不同电压、1mm 放电距离浓度对流速对数级的特征图。氧气流速越大，所加电压越高，三氧浓度越大。但是，流速范围约 1 到 10L/min 是可行的。
